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ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 低溫U8HSP 愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品型號(hào)：U8HSP
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征適用于濺射工藝。氬氣置換量約為傳統(tǒng)型號(hào)（U8H）的2.5倍。氫氣排氣率提高至傳統(tǒng)型號(hào)（U8H）的約1.2倍。播放間隔變得更長(zhǎng)，有助于提高設(shè)備的可用性。多臺(tái)操作（最多 3 臺(tái)）規(guī)格

ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 低溫U8HSP 愛(ài)發(fā)科

抽速(20℃)氮升/秒1,700
氫3,200
氬氣1,400
水4,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.2×10 3 (8.9)
氫2.4×10 2 (1.8)
泵送能力氬氣帕?升(托?升)2.5×10 8 (1.9×10 6 )
氫1.0×10 6 (7.8×10 3 )
冷卻時(shí)間
（電源循環(huán)）		小值(Hz)125/115(50/60)
安裝法蘭UVG-200,6 B ANSI,UFC-253
壓縮機(jī)組C10T,C10AT

公斤33.2


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