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日本ulvac進(jìn)口渦旋式干式真空泵 DIS?DISL 系列 DIS-90
產(chǎn)品型號(hào):DIS-90
產(chǎn)品品牌:日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 特征 體積小、排量大。 干式真空泵的最高極限壓力水平。 內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器的安全設(shè)計(jì)。 通過空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。 應(yīng)用 分析設(shè)備。 氣體回收系統(tǒng)。 涂裝設(shè)備。 TMP 的后泵。 氦氣泄漏檢測(cè)儀。 半導(dǎo)體的制造工藝。

日本ulvac進(jìn)口渦旋式干式真空泵 DIS?DISL 系列 DIS-90

 單元50赫茲60赫茲實(shí)際抽速※1升/分鐘90108極限壓力帕(千帕)5.0馬達(dá)※2 單相,100/115/200/230V,150W,4P 電容啟動(dòng)/運(yùn)行滿載電流A2.6/1.3/1.6(100/200/230伏)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230伏)重量公斤14.0入口法蘭 KF-25出口管徑 KF-16環(huán)境溫度℃5~40水汽處理克/天≦5 以下(AFopen ※3、室溫25℃、濕度60%以下)噪音水平D b≦52 (AF開啟※3 , ≦57)外形尺寸毫米214(寬)×308(長(zhǎng))×225(高)

※1:實(shí)際排氣速度約為吸入大氣壓氣體時(shí)的實(shí)際排氣速度的1.2倍。
※2:不附帶電源插頭、電源電線。
※3:AF=Air flush空氣沖洗操作不僅能排出泵內(nèi)殘留的水,而且還有恢復(fù)極限壓力的效果。

對(duì)應(yīng)儀式/電壓

模型適用標(biāo)準(zhǔn)※CE確認(rèn)聲明1φ100V系列1φ200V系列3φ200V系列3φ400V系列DIS-90紫外線●●(可通過更換端子板進(jìn)行切換)--


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