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HONDA本多石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)W-357-1MQB-SKC的使用和介紹
石英振動(dòng)超聲波清洗機(jī)首次使用將超聲波疊加到石英振動(dòng)體進(jìn)行半導(dǎo)體精密儀器清潔,可以減少化學(xué)藥品的使用,滿足低損傷清洗,大面積清洗、斜面端的清洗等。
清洗損壞程度低的細(xì)分圖案晶片
■通過在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來清洗半導(dǎo)體晶片
通過將化學(xué)溶液浸入半導(dǎo)體晶片中并通過石英玻璃傳播超聲波振動(dòng),接觸部分處的化學(xué)溶液振動(dòng),并且加速作用去除了表面上的污垢。
■實(shí)現(xiàn)清潔清洗,對(duì)半導(dǎo)體晶片的損壞很小
與使用諸如包裝之類的橡膠材料的設(shè)備相比,通過使用化學(xué)溶液將石英用于潤濕部件,可以實(shí)現(xiàn)清潔清潔,而不會(huì)洗脫或磨損橡膠。
■由于具有振動(dòng)器冷卻功能,因此與標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品相比,最大輸出增加了2.4倍。
通過用氣體(氮?dú)獾龋├鋮s振動(dòng)器,可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行而不會(huì)出現(xiàn)頻率波動(dòng)。
此外,通過冷卻,溫度不會(huì)突然變化,并且可以延長使用壽命。
采用
去除殘留物
磨邊后,灰化后去除聚合物
柵電極清潔
CMP后的清潔石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)W-357-1MQB-SKC由深圳市安川測(cè)量儀器有限公司特價(jià)銷售石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)W-357-1MQB-SKC石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)W-357-1MQB-SKC