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半導(dǎo)體晶圓清洗,有時在出廠或移動過程中,出現(xiàn)污染,即可使用超聲波清洗機進行清洗,超聲波清洗機的原理主要是通過轉(zhuǎn)子的振動,通過清洗槽壁將超聲波輻射到槽子中的清洗液。由于受到超聲波的輻射,使槽內(nèi)液體中的微氣泡能夠在聲波的作用下從而保持振動。破壞污物與清洗件表面的吸附,引起污物層的疲勞破壞而被駁離,從而達到清洗的目的。
日本HONDA本多半導(dǎo)體超聲波清洗機有高頻振動頻率,專門針對半導(dǎo)體晶圓等精密部件,損傷小,清洗程度高。分離型W-357BM-1200\600、脈沖噴射W-357-1.5MPG、石英振動W-357-1MQG-SKC,可以根據(jù)產(chǎn)線布置選擇不同的型號和振動頻率,石英振動墊圈W-357-1MQG-SKC\W-357-1.5MQG-SKC
實現(xiàn)低損傷、高清潔度的新一代清洗
晶片的小型化、損傷低的清洗
高頻分離型W-357BM-1200\600
磁頭清洗
?硅晶片清洗
?藍寶石晶片清洗
?半導(dǎo)體器件加工后清洗
?硬盤清洗
流水式點式超聲波清洗機W-357-1MPG
使用恒定功率數(shù)字振蕩器的脈沖噴射清洗機。
它響應(yīng)水溫和環(huán)境溫度的變化而振蕩出穩(wěn)定的超聲波。